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晶片・芯片移載機 | Chip Sorter - 自動化設備,自動化檢測,自動化設備設計,外觀檢查機,AOI,半導體設備,LED/零件外觀檢查機,自動光學檢測設備,自動光學檢測,自動檢測機,特殊客製化設備,客製化專用機械設計,客製化機械
裝置簡要
- 晶圓放在可作X,Y,Φ移動的平台上, 垂直轉輪吸取晶片,移載途中側面相機對工件正面外觀檢查後,再轉移至另一大型轉輪上由另一相機作背面的外觀檢測, 最後放到下料盤。
- 芯片的反向搬移。
- 標準方式:膠布→填盤
- 反向搬送方式:填盤→膠布
- X軸採用高速磁懸浮電機,兩移動頭可同時工作。
- 經圖像處理確定芯片位置適多品種。
- 軟件中具有產品品種變更對應功能。
- 中間測試台上可追加特性檢測能力。
- 產品追踪功能。
規格
- 大型轉輪式吸嘴處理能力達0.25秒/個。
- 真空吸嘴移載,不損工件。
- 晶圓尺寸: 5, 6, 8英寸平板晶盤
- 基盤尺寸: 150mm以内
- 芯片尺寸: 0.1mm以上 *接受客戶指定外觀檢查項目
- 裝置尺寸: W1350 x D1000 x H1610 (mm)
- 污損、變色、異物、龜裂、陰影、刮傷。*接受客戶指定外觀檢查項目
- 可按用戶要求增加外觀檢查項目。